資訊中心

服務熱線

服(fú)務熱線：027-87876585
027-87876385
移動電話(huà)：13317108516
13871149152
傳　　真：027-87596225
售後服務：13628671834
E-mail：[email protected]
聯系地址：武漢市東湖高新技術開發區關南園四路2号(hào)

及時聯系我們為(wéi)您解答産品相關疑問歡迎撥打全國統一服務熱線

4000-777-650歡迎來電咨詢

聯(lián)系我們留言
提供更多資料全方位的服務方案

真空度測試儀的研制(zhì)與應用

返回打印(yìn) 來源：儀天成電力時間：2013/07/30 閱讀：次

       真空(kōng)度測試儀的主要作用是,根據磁控放電的方法測量(liàng)真空泡内離子電(diàn)流,以此量測(cè)量泡(pào)内真空度,并可用于(yú)評定真空泡使(shǐ)用壽命。該測試儀既可用(yòng)于(yú)真空泡出廠檢測流水線(xiàn),也可單獨進行測(cè)量。
       基本工作原理
       磁控放電(diàn)法測試真空度的基本原理(lǐ)如下:将真空泡兩觸頭拉開一定(dìng)的開距,并置于通有大電流(liú)的螺線管内,在兩觸頭(tóu)間施加高壓(yā)脈沖,從而在真空泡内産生高(gāo)壓電場和軸向脈沖磁場。這樣,在脈沖強磁場和強電場的作用下(xià),真(zhēn)空泡中的電子作螺旋運動,并與(yǔ)殘餘氣體分子發生碰(pèng)撞産生電離,生成的離子電(diàn)流與殘餘氣體密度即真(zhēn)空度近(jìn)似成(chéng)比例關(guān)系。
       研制的測試儀可用于測量洩漏電流、全電流和離子電流3個電流值。
       (1)洩漏電流(liú)。将真空泡動靜觸頭(tóu)拉開(kāi)一定的間(jiān)距,并加高壓直流脈沖電壓,則會在兩觸頭間、觸頭和屏蔽罩間産生強電場。根據場緻發射理論,陰極和屏蔽罩表面(miàn)會發射出電子,向陽極運動,形成(chéng)電流,即洩漏電流。由于電子的自由行程遠遠大于兩觸頭間距,電子幾乎不與(yǔ)真空泡内殘餘氣體(tǐ)分子發生(shēng)碰撞,所以洩漏電流不能正确反應真空泡(pào)的真空度。
       (2)全電流(liú)。為了使洩漏電流的電子能夠與殘(cán)餘氣體分子發生碰撞,目前常用的方法(fǎ)是在軸向上加(jiā)一較強的磁(cí)場,使得場緻發射(shè)的(de)電(diàn)子在電場和磁(cí)場的共同(tóng)作用下發生螺旋運動,這加大了電子運(yùn)動的行程及與殘餘(yú)氣(qì)體分子發生碰撞(zhuàng)的(de)概率。當電子與殘餘氣體分子發生碰撞後會産生電離(lí)現象,并形成穩定的自持放電,這時測量出(chū)的電流值為全電流(liú)值。
       (3)離子電流。全電流的測量值包括了陰極和屏蔽罩發射的(de)洩(xiè)漏電(diàn)流,以及殘餘(yú)氣體被碰撞後産生(shēng)電離的離子電流。為了準确測量真空泡(pào)内的真空度,還得從全電流中減掉洩漏電流值,得到的才是真正反映真空泡真(zhēn)空度的(de)離子電流值。真空(kōng)泡使用壽命評定原理:真空泡(pào)随着正常使用時間的增(zēng)長,内部真(zhēn)空度也呈線性增加。通過測定(dìng)兩個間隔(gé)時間(jiān)比較恰當時的真空度,就可确定其變化率,從(cóng)而确定使用過任意時間後真空泡真空度的大小。

      主題詞：真空度測(cè)試儀工作原理

上一篇：微機型繼(jì)電保護測試儀的研制——微處理器系統設計(jì) 下一篇(piān)：氣體繼(jì)電(diàn)器是變壓器的組件(jiàn)

更多技(jì)術問題(tí)請緻電儀(yí)天成電力客戶服務：027-87876585，技術部專線：027-87876585，在線客服：

719388481
産品中心：http://www.qz-tech.cc/product/
售後、保修、維(wéi)修服務中心(xīn)：http://www.qz-tech.cc

真空度測試儀的研制(zhì)與應用

真空度測試儀的研制(zhì)與應用